位移精度<0.01nm,压头总行程为1.5mm,最大载荷为500mN,载荷精度50nN,试样台定位精度1μm。
圆柱状平压头、Berkovich压头、cube压头、球形压头
压痕和划痕两种测试,测量金属、薄膜材料等纳米或微米尺度硬度、弹性模量、膜基结合力等力学性能。