主要规格及技术指标

主真空室：1.7×10-10 Torr；XPS分辨率：0.5eV；X射线束斑：200μm；AES分辨率：0.4%；电子枪束斑：75nm , 灵敏度：1Mcps；信噪比：大于70:1；角分辨：5°～90°；Al/Mg双阳极靶，能量分辨率：0.5eV，灵敏度：255KCPS

主要附件及配置

2θ角重复精度：0.0001°；
最小步进角度：0.0001°；
温度控制范围：100K—300K
控制精度：±0.3K

主要功能及特色

XPS常规点、线、面扫描；XPS成像；深度剖析；俄歇能谱；REELS、UPS、ISS谱