主要规格及技术指标

二次电子分辨率：0.7 nm（加速电压 15 kV）；0.9 nm（着陆电压 1 kV）*2
加速电压：0.5~30 kV
着陆电压*2：0.01~20 kV
倍率 ：20~2,000,000倍*3
马达台控制：5轴自动

主要附件及配置

1.冷场发射扫描电镜主机（包括冷场发射电子枪1套；电子束减速功能1套；髙位二次电子探测器1套；低位二次电子探测器1套；4英寸样品预抽室1套
2. 电制冷能谱仪1套
3. 离子溅射仪（Au） 1台

主要功能及特色

冷场发射扫描电子显微镜，具备高分辨扫描图像观察能力，可进行微米和纳米材料的表面形貌观察，是研究材料结构与性能关系不可缺少的重要工具。
产品特性：
1. 创新型冷场电子枪，束流更大更稳定，高分辨观察和分析兼顾
2. 大幅度提高的分辨率0.7nm@1kV、0.6nm@15kV)；
3. 超高真空发射枪和样品室，将样品污染降至
4. 选配顶端过滤器，可实现良好的成分对比度
5. 优异的扩展功能，可附加多种功能附件。