主要规格及技术指标

泵组：进口无油隔膜泵
真空抽速：≥0.7m3/h
极限真空度：≤50Pa
抽真空时间：≤2min
真空规：进口皮拉尼真空计
样品腔室尺寸：φ150*90mm不锈钢腔室
TEM样品杆转接：适用于各品牌样品杆转接可选
射频源：靶源尺寸φ80mm
清洗功率范围：10-50W可调，13.56MHz
工作压强：60-150Pa
气体控制：恒定压强闭环控制，空气无需外接气源
操作方式：触摸屏控制，一键式操控

主要附件及配置

无

主要功能及特色

采用进口品牌高性能真空干泵产生一个洁净的< 50 Pa的真空压强，通常抽真空时间小于2-3分钟。采用高品质恒功率RF射频电源，确保工艺重复性。感应射频放电模式也大幅降低等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于对温度或轰击敏感的TEM或SEM样品进行有机污染物清洗、积碳清除、表面活化、亲水化等用途。触摸屏自动控制，即插即用。