高速控制器系统原子力显微镜主机扫描器样品台Z向移动范围不小于18毫米探针支架一组大气环境实现形貌及物理特性测试要求光学系统,彩色高分辨CCD系统减震系统
在原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)的系统中,可分成三个部分:力检测部分、位置检测部分、反馈系统
测样品形貌、粘附力、压痕深度等