主要规格及技术指标

Hitachi S-3400N型扫描电子显微镜，采用TMP分子泵真空系统，节省占地面积和电源功耗。主要用于对材料的微观形貌、组织和成分进行有效分析。配备的电子光学系统和自动化功能显示系统有全屏显示，无闪烁，高像素和实时图像显示等优异的性能，它还可以实时信号混合并同时显示两个不同的检测器观测到的互不相同的样品信息。

主要附件及配置

配备能谱仪

主要功能及特色

1. 自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。
4. 型具有五轴马达台，倾斜角度可达-20度~+90度，样品可达80mm。
5. 分析样品仓可以同时安装EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系统使用涡轮分子泵。