主要规格及技术指标

1.溅射方法：磁控管。
2.工作压力：10-1Pa。
3.溅射电流：10、20、30、40 mA。
4.靶件：铂（Pt）标准。
5.样品架：直径 64 毫米。
6.样品架位置：可变（30-40 毫米）。
7.真空室：120 毫米 x 100 毫米高，玻璃制成。
8.真空监测器：皮拉尼真空计（也用于溅射电流显示）。
9.计时器：数字显示（1-300 秒）。
10.进气阀：内置。
11.氩气吹扫功能：内置。
12.高压安全电路：内置。
13.排气系统：直接耦合旋转泵，30 升/分钟。
14.电源：单相 100 V，50/60 Hz，300 VA。
15.尺寸和重量：350（宽）x 340（深）x 282（高）毫米，12 千克。
16.旋转泵尺寸和重量：280（宽）x 120（深）x 215（高）毫米，10 千克。
17.室温：20°C ± 5°C。

主要附件及配置

无

主要功能及特色

JFC-1600离子溅射仪主要用于样品的表面喷金处理，可以增强样品表面的导电性，得到高清晰的图像。适于生命科学样品及非导体样品的制备。主要特性：阴极永磁体产生高效辉光放电；操作简单、速度快、效果好。