1. 极限待机真空度:3×10-5Pa;离子枪:电压0-6 kev;双离子源:两个penning离子枪;离子枪转角:±10°。
2. 试 样台:转速0-6rpm;多功能的试样支架;快速的试样转换时间。
3. 处理前试样厚度:d<0 .07mm
无
Gatan691型离子减薄仪是美国Gatan公司生产的用于制备高质量透射电镜样品的一台功能较齐备的精密仪器。它能够制备较大且清洁的电子透射区,在透射电镜试样制备上应用广泛。该仪器采用双离子源设计,两离子枪均角度可调,可在较低角度快速减薄试样。采用紧凑的无油真空系统设计,避免试样污染。
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