主要规格及技术指标

1.分辨率:二次电子1.0 nm，背散射电子2.5 nm;
2.加速电压: 200 V-30 kV;
3.最大束流: 200 nA。

主要附件及配置

1.Oxford能谱仪(型号: X-MaxN) ;
2.Oxford 电子背散射衍射仪(型号: Symmetry S3) ;
3.祺跃Mini-MTS2000@HT750原位加热拉伸台。

主要功能及特色

1.可以获取样品微观表面形貌以及成分差异: 二次电子(SE)用于获取微观表面形
貌像，背散射电子(BSE)用于获取微区成分差异;
2.可以获取样品微区元素分布: X-ray能谱仪 (EDS)用于获得微区元素含量及
分布;
3.可以获取样品内晶体结构信息: 电子背散射衍射仪 (EBDS)用于晶体取向分
析、相鉴定、应变分析等;
4.原位高温力学及组织测试: 原位力学实验台可在不同温度(室温~750°C)对实验样品进行原位力学加载实验，建立载荷与材料组织之间的关系，同时可以配合EBSD和EDS使用。