主要规格及技术指标

1.加速电压：0.01-30KV
2.分辨率：0.8nm(加速电压15KV)，1.1nm(着陆电压1KV，减速模式)
3.放大倍数：20-2000倍(低倍模式)，100-800000倍(高倍模式)
4.检测器：配有顶位、高位以及低位二次电子探测器，顶位探测器可选择接收二次电子像或背散射电子信号，高位探测器可选择接收二次电子或背散射电子信号，并以任意比例混合。在低压下（≦2kV）可以得到背散射电子图像。
5.能谱仪：斜插式和平插式能谱仪SDD电制冷能谱探头（能量分辨率优于129eV）；
6.真空转移

主要附件及配置

配备Oxford能谱仪

主要功能及特色

能完成各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、陶瓷氧化物、矿物、半导体、食品、农作物和化工产品等材料领域。既可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在微米、纳米级样品的表面特征，也可以进行化学成分像分布，微区化学成分分析显微组织的研究。高性能X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
主要功能如下：
1.材料的高分辨形貌分析。
2.显微组织及超微尺寸材料的研究。
3.化学成分像分布，微区化学成分分析。
4.具有相分析、自动颗粒物分析以及形态学分析功能。
5.配备真空转移装置，可在不接触空气的环境中更换样品。