次电子图像分率:1.0 nm(加速电压 15 kV, WD=4 mm) 1.3 nm(着陆电压 1 kV, WD=1.5 mm) 放大倍率:低倍率模式20-2,000×(照像倍率)80-5,000×(显示倍率) 高倍率模式 100-800,000×(照像倍率) 80-800,000×(照像 倍率) 400-2,000,000×(显示倍率) 300-2,000,000×(显示倍率) 电子枪:冷场发射源 加速电压:0.5 kV - 30 kV(标准模式) 着陆电压:0.1 kV to 2.0 kV(减速模式) 物镜光阑:物镜光阑(加热型), 4孔可选,在真空系统外切换
电子枪:冷场发射源 物镜光阑(加热型)
用于观察纳米材料精细表面结构。
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