主要规格及技术指标

3英寸基片可达200°C/s； 带质量流量控制器的气体混合性能；真空范围: 大气 至 10-2 Torr (10-6 Torr带可选分子泵)；热电偶温度测量及快速数字PID控制；确保温度范围内高效稳定的控制温度；可选高温计控制；设备提供完整电脑控制功能；带兼容Windows的软件

主要附件及配置

主机、电脑、碳化硅托盘；热电偶；冷水机

主要功能及特色

3英寸真空快速退火炉(快速热处理炉)RTP；便携式桌面配置；用于研发；样品尺寸:平方毫米 至 3-inch 直径；可选 3-inch 基片托适用 2-inch 样品；工艺腔室带石英管和不锈钢法兰；管式红外卤灯炉；极快的升温速率；带石英托盘的水平移动门板，便于装卸基片；配备热电偶。