主要规格及技术指标

◆ 四极质谱：德国英福康（INFICON）在线质谱（产地：美国，提供原产地证书及原厂校准测试证书）；
◆ 质量数：默认1-100amu；选配1-200amu或1-300amu；
◆ 灯丝：镀铱灯丝，2套，一用一备，软件切换；
◆ 分辨率：优于0.5ppm（40amu）；
◆ 扫描速度：可达1.8毫秒/amu，扫描步阶0.1amu；
◆ 最小可检测分压：2E-15Torr （4s停留时间）

主要附件及配置

◆ 软件分析系统：德国英福康（INFICON），英文；通讯接口TCP/IP。
◆ 规格：H510mm*L520mm*W225mm，Weight30kg，高集成度

主要功能及特色

用于监测气体和过程分析，便于生产、研究使用