主要规格及技术指标

1.扫描范围： 大扫描器 XY方向扫描范围≥125μm×125μm、Z方向≥5μm
2.小扫描器 XY方向扫描范围≥10μm×10μm，Z方向≥2.5μm
3.成像功能：-180°至180°全线性相位成像
4.分辨率：XY方向分辨率为1 nm左右（与探针选择相关）
5.Z方向分辨率为0.1 nm
6.样品台尺寸： 200 mm

主要附件及配置

无

主要功能及特色

本设备能够在大气环境下准确地观测样品表面微区（纳米及微米尺度）三维形貌；同时可对样品表面物理特性（电学、磁学、力学等特性）进行研究，能测试多种材料如绝缘材料、半导体材料、膜材料、压电/铁电材料、低维纳米材料等。