主要规格及技术指标

X-Y方向扫描范围：10μm
Z方向扫描范围：2μm       
图像分辨率：128x128 , 256x256,512x512, 1024x1024
扫描角度：0~360°
扫描频率：0.1~100Hz

主要附件及配置

无

主要功能及特色

I-V，I-Z、力-距离等多种曲线测量分析
在线实时三维图像显示，检测过程可即时得到更直观的形貌和丰富的细节
多通道信号同时采集和显示，一次扫描即可同时得到样品多种性质与特征
具有图像及曲线数据导出功能，可取得全部原始数据
探针表征和图像重建功能(针尖形貌估算/图像重建/用已知探针重建图像)