主要规格及技术指标

1.电子光学系统：电子枪：预对中型发叉式钨灯丝电子枪，可及时自行替换，保证整机使用效率；分辨率：≥3nm@30kV；8nm@3kV；加速电压及放大倍率：0.2kV～30kV，1x～300000x（1-16X为光学放大，电子为底片）；电子束束流：数pA～2μA。
2.真空系统：全自动真空控制，具有真空互锁功能，有效避免误操作；1台涡轮分子泵，≥240L/S；1台机械泵，16m³/h(4.4L/s)，具备智能启停功能，静音长寿命；真空度：≤5×10-4Pa；抽真空时间：≤5min；放气时间：≤2min；
3.样品仓及样品台：扩展接口≥13个；三轴电动样品台行程：X≥120mm；Y≥115mm；Z≥50mm；最大直径：270mm，样品台承重：≥500g（拆除RTZ后5kg）；探测器：二次电子探测器

主要附件及配置

配套测试主机：CPU不低于酷睿i5-12400、显示器≥24英寸，内存≥16G，硬盘≥1TB，内置配套功能软件和板卡，windows10专业版

主要功能及特色

4.图像显示与处理：显示方式：全屏显示、分屏显示；扫描速度：预设扫描模式≥4种，可自主配置，支持区域扫描模式；
测量功能：支持多种测量标记工具，包括长度、角度、直径等；图像注释与数据区：提供标准数据区，可在图片上显示各种电镜参数；图像显示：≥768*512；图像保存分辨率：≥32k*48k。
5.操作设备：自动调整功能：自动聚焦、自动像散、自动亮度对比度等；智能辅助功能：智能辅助消像散、动态大图拼接；图像混合像（BSE+SE）：支持一键切换SE和BSE的混合成像，比列可调；可进行多通道成像，分屏上可同时进行不同信号成像；标配光学导航功能，双CCD导航